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粒度分布測定（マイクロトラック）　（料金表：23:資料番号：012）

概要

レーザー光を試料へ照射し、異物により散乱される粒径情報（散乱角度依存）をある角度毎に検出、演算処理により粒度分布を求めます。NAS等級は5μmから100μmを測定しますが、本装置は、0.02μmから1400μmが測定範囲なので、サブミクロンのコンタミや異物また、100μm以上の同様の対象物測定に有効です。

主な分析内容

・0.02μmから1400μmの粒度分布測定
・フィルトレーションの効果確認
・異物粒度を測定確認し、フィルター選定

粒度分布測定結果
	ピークの粒径を数値に表したものです
	【MV】 Mean Volume Diameter：体積平均径
	【MN】 Mean Number Diameter:個数平均径
	【MA】 Mean Area Diameter:面積平均径
	【CS】 Calculated Specific Surfaces Area:比表面積（㎡/ml)
	【SD】 Standard Deviation:標準偏差
	【10%,50%,90%】 10%,50%,90%径(μm)

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