粒度分布測定とは

レーザー光を試料へ照射し、異物により散乱される粒径情報（散乱角度依存）をある角度毎に検出、演算処理により粒度分布を求めます。

NAS等級は5μmから100μ mを測定しますが、本装置は、0.02μmから1400μmが測定範囲なので、サブミクロンのコンタミや異物、また、100μm以上の同様の対象物測定に有効です。

分析用途

●0.02μmから1400μmの粒度分布測定
●フィルトレーションの効果確認
●異物粒度を測定確認し、フィルター選定